【摘 要】
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从市场、产业链、技术等方面分析国内光刻胶的发展现状;通过梳理半导体产业链及光刻胶行业的发展史得出,市场、光刻机以及光刻胶上游原材料技术是发展半导体光刻胶的关键成功要素.目前,上游原材料树脂技术是我国光刻胶产业链最薄弱环节.建议在合成树脂方面具备资源及技术优势的石化企业把握时代趋势,充分发挥自身优势,并购先进企业或引进国外先进技术,并与国内中下游企业合作,大力发展高端光刻胶树脂,完善我国市场主流半导体ArF光刻胶产业链,并提前布局下一代EUV光刻胶树脂.
【机 构】
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中国石化集团经济技术研究院有限公司,北京 100029
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从市场、产业链、技术等方面分析国内光刻胶的发展现状;通过梳理半导体产业链及光刻胶行业的发展史得出,市场、光刻机以及光刻胶上游原材料技术是发展半导体光刻胶的关键成功要素.目前,上游原材料树脂技术是我国光刻胶产业链最薄弱环节.建议在合成树脂方面具备资源及技术优势的石化企业把握时代趋势,充分发挥自身优势,并购先进企业或引进国外先进技术,并与国内中下游企业合作,大力发展高端光刻胶树脂,完善我国市场主流半导体ArF光刻胶产业链,并提前布局下一代EUV光刻胶树脂.
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