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硅基集成式微型平面纳米级定位平台控制

来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户：just_username

【作 者】

：

王家畴，李昕欣，孙立宁，WANGJia-chou，LIXin 

【出 处】

：

仪表技术与传感器

【发表日期】

：

2009年z1期

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