铌酸锂薄膜调制器的协同仿真与优化设计

来源 :北京工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wxg1984

【摘要】

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电光调制器的半波电压和带宽主要取决于其电极结构,基于绝缘体上铌酸锂(lithium niobate on insulator,LNOI)结构调制器波导与基底折射率差为传统工艺的10倍左右,能够大幅提

【作者】

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杨登才陈雨康王云新向美华陈智宇刘萍萍兰天

【机构】

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北京工业大学材料与制造学部激光工程研究院,北京工业大学理学部物理与光电学院,中国电子科技集团第29研究所电子信息控制重点实验室

【出处】

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北京工业大学学报

【发表日期】

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2021年6期

【关键词】

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协同仿真薄膜铌酸锂行波电极相速匹配重叠积分电极结构参数

【基金项目】

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国家自然科学基金资助项目(61771438,61871007),装备预研基金资助项目(6141B08231102)。

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电光调制器的半波电压和带宽主要取决于其电极结构,基于绝缘体上铌酸锂(lithium niobate on insulator,LNOI)结构调制器波导与基底折射率差为传统工艺的10倍左右,能够大幅提高光场和电场的重叠度,降低调制器的半波电压,提升调制带宽.当前迫切需要针对这一新型调制结构的电极进行优化设计.应用COMSOL Multiphys-ie和HFSS软件对LNOI结构的强度调制器进行协同仿真和优化设计.主要讨论了电极宽度、电极厚度、电极间距和上下包层厚度对调制器特性参数的影响,得到了调制器的电光重

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