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针对微尺度复杂三维结构加工中的关键部件--三维微进给平台进行了研究.对国内外的高精度运动平台的原理及特点进行了总结和分析.目前还没有百毫米行程、精度可达纳米级的进给平台.针对这一点,文中提出了几种可满足上述要求的进给平台的设计方案,并分析了各自的优缺点.
纳米级大行程多维运动平台的方案研究
【摘 要】
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针对微尺度复杂三维结构加工中的关键部件--三维微进给平台进行了研究.对国内外的高精度运动平台的原理及特点进行了总结和分析.目前还没有百毫米行程、精度可达纳米级的进给
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系,清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
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制造技术与机床
【发表日期】
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2005年3期
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