【摘 要】
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ESCA是五十年代开始研究,六十年代陆续发表应用性文章。近十几年来,电子能谱无论从基础研究或应用研究越来越广泛深入。ESCA特别适用于研究固态物质,可得到固体表面层5—100
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ESCA是五十年代开始研究,六十年代陆续发表应用性文章。近十几年来,电子能谱无论从基础研究或应用研究越来越广泛深入。ESCA特别适用于研究固态物质,可得到固体表面层5—100以内有关的化学成分及其结合状态的信息,它是一种无损的表面分析技术。配以特殊进样装置可分析液体或气体样品。商品仪器出现在七十年代初,目前已发展为一机多功能。它除ESCA(亦即X光电子能谱XPS)外,尚有紫外光电子能谱(UPS),俄歇电子能谱(AES),
ESCA started its research in the 1950s, and published some useful articles in the 1960s. In recent ten years, the electronic spectrum has been more and more extensively studied from basic research or applied research. ESCA is particularly suitable for studying solid materials and provides information on the chemical composition and bonding conditions within 5-100 of the solid surface layer, a non-destructive surface analysis technique. With a special injection device can analyze liquid or gas samples. Commodity equipment appeared in the early seventies, has developed into a multi-function machine. In addition to ESCA (that is, X-ray photoelectron spectroscopy XPS), it has ultraviolet photoelectron spectroscopy (UPS), Auger electron spectroscopy (AES)
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