金属有机沉积涂层导体La2Zr2O7缓冲层长带制备

【作者】

：

王耀李成山于泽铭冯建情金利华王辉许征兵张平祥

【机构】

：

西北有色金属研究院超导材料研究所,苏州玛瑞柯测试科技有限公司,广西大学广西有色金属及特色材料加工重点实验室

【出处】

：

西安文理学院学报：自然科学版

【发表日期】

：

2015年4期

【关键词】

：

LA2ZR2O7 金属有机沉积织构表面形貌涂层导体缓冲层 La2Zr2O7 metal organic deposition texture su

【基金项目】

：

国家自然科学基金资助项目(51302225,51202201),陕西省西安市未央区科技计划项目(201412),陕西省自然科学基金青年人才项目(2014JQ6202),广西有色金属及特色材料加工重点实验室开放基金项目(GXKFJ12-01)

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采用辊到辊方式利用金属有机沉积(MOD)技术在双轴织构的Ni W合金基带上制备了烧绿石结构的La2Zr2O7(LZO)缓冲层长带样品,利用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)对长带样品不同部位截取短样的织构和表面形貌进行了分析.结果表明,已经制得了具有良好c轴织构且表面光滑的LZO膜.然而长带样品的织构锐利度小于静态短样的织构度,可以认为,热处理过程中影响升温速率以及恒温热处理时间的走带速度是获得高质量长带缓冲层样品的关键因素.

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