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针对Ф2mm压电石英传感器有效测试面积小、信号弱、易受干扰的特点,对不同真空度、不同飞片速度下的空气冲击波压力进行计算分析,得出在20Pa以下的真空度中进行微喷测量时,残存空气对Ф2mm压电石英传感器的影响可以忽略;利用此条件下的实验数据,估算了影响Ф2mm压电石英传感器真空度的上限值。