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指出在现代半导体公司中,设备维护和维修的重要性,并且在这几个方面,设备维修人员的基本要求,设备维修的基本方法,设备维修的日常维护,设备维修的预测性维修等提出自己几点个人的建议,以使半导体设备的修护和维修得到完善.
半导体设备的维护与维修体验心得
【摘 要】
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指出在现代半导体公司中,设备维护和维修的重要性,并且在这几个方面,设备维修人员的基本要求,设备维修的基本方法,设备维修的日常维护,设备维修的预测性维修等提出自己几点个
【机 构】
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西安卫光科技有限公司,陕西西安,710065
【出 处】
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民营科技
【发表日期】
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2012年9期
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