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针对直线电机驱动的高性能XY工作台的结构及运动特点，提出基于小波多分辨率分析与信号时域分析相融合的高性能XY工作台故障诊断方法；该方法通过分析研究高性能工作平台多工况多位置的振动信号，对信号进行小波多分辨率分解后不同尺度上的分解系数模值取平方，进行消噪处理，解决了工作台振动信号中随机噪声信号和故障特征信号混叠不易提取的难题，由获取的小波系数模值平方序列结合时域分析方法构造特征量，提取出故障信号特征。试验表明，该方法可有效地实现高性能XY工作台的故障诊断。