【摘 要】
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利用自行设计的CO气体收集装置研究了料层厚度对多热源SiC合成炉内CO温度变化的影响。结果表明，在供电功率、供电时间、炉芯尺寸、炉芯数目等实验参数均相同的条件下，炉内CO温
【基金项目】
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基金项目：国家自然科学基金资助项目（50174046）,宁夏自治区科技攻关项目
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利用自行设计的CO气体收集装置研究了料层厚度对多热源SiC合成炉内CO温度变化的影响。结果表明，在供电功率、供电时间、炉芯尺寸、炉芯数目等实验参数均相同的条件下，炉内CO温度随供电时间呈现近线性增大的变化趋势，料层越厚，距料层表面同位置处CO温度越低，CO温度的最大值、平均值、梯度值、温度增长速率越小。
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