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通过对阳极真空弧沉积膜的背散射分析，测出沉积膜中阳极材料Ｗ含量不大于０．０４％，得出了起弧条件与Ｗ蒸发量的关系。
阳极真空弧沉积膜的背散射分析
【摘 要】
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通过对阳极真空弧沉积膜的背散射分析，测出沉积膜中阳极材料Ｗ含量不大于０．０４％，得出了起弧条件与Ｗ蒸发量的关系。
【机 构】
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烟台大学
【出 处】
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表面技术
【发表日期】
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1995年3期
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