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反应溅射镀膜技术与离子镀技术的异同
反应溅射镀膜技术与离子镀技术的异同
来源 :装备制造技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:peiyhpyh
【摘 要】
:
反应磁控溅射技术与离子镀技术在薄膜特点、成膜环境以及使用范围等方面有很多相同之处,从本质上来看都属于溅射镀膜技术,但从产生机理上看还是有一些区别的,本文将从两种技
【作 者】
:
韩旭
朱琳
董群
于海
【机 构】
:
沈阳新松机器人自动化股份有限公司
【出 处】
:
装备制造技术
【发表日期】
:
2015年1期
【关键词】
:
反应溅射技术离子镀技术真空镀膜
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反应磁控溅射技术与离子镀技术在薄膜特点、成膜环境以及使用范围等方面有很多相同之处,从本质上来看都属于溅射镀膜技术,但从产生机理上看还是有一些区别的,本文将从两种技术的发生原理、常见特点和工艺角度阐述其不同点。
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