持续高功率磁控溅射技术高速制备挠性覆铜板Cu膜

来源 :真空与低温 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fuchengjun007
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
挠性覆铜板(FCCL)是电子信息领域的基础材料,随着电子产品高集成化、高密度化、高频化的发展,对具有低介电损耗特点的聚酰亚胺/铜(PI/Cu)双层覆铜板的需求越来越大。目前高端FCCL的生产中存在膜基结合力差、Cu致密度低、环境污染等问题。本文提出利用兼具高离化率、高沉积速率特点的持续高功率磁控溅射技术(C-HPMS),通过多步离子能量控制在PI表面实现了真空环境下的Cu膜制备,研究了溅射功率密度、沉积温度和基底偏压对Cu膜沉积速率、致密度、膜基结合力等性能的影响,发现用C-HPMS制备Cu膜,沉积速率可
其他文献
重组人凝血因子Ⅷ的临床应用研究血友病是一组遗传性凝血功能障碍的出血性疾病,目前尚无法根治。其中80%的病例为血友病A(HemophiliaA),该病系由人凝血因子Ⅷ基因缺陷所致。长期以来传统的治疗方
油库检维修作业比较特殊,常常会面临各种风险,需要检修人员根据设备的实际情况精准施策,采取切实可行的保养措施,确保油库设备安全稳定运行。
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”$ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’#陈川个美食 Back to yield
针对复杂空间环境中卫星材料出气导致的分子污染问题,以某近地卫星载荷在轨测试为例,在讨论卫星轨道漂移的基础上,详细分析辐射制冷器地球屏、一级与二级冷块温度变化情况,重
住院病历是患者入院后,医务人员对其诊疗活动的客观记录。它不仅是医学科研的原始资料,也是一个医疗单位诊疗技术水平的具体表现形式。一份完整合格的住院病历,应该文字简洁、语
目的提升病历质量控制水平,提高病历书写质量。方法以电子病历为依托,实现病历质控自动化。结果以计算机技术为手段实现了对病历质量的实时、全程监控。结论充分利用计算机技
为寻找菘蓝愈伤组织诱导的最佳外植体,最佳培养基及愈伤组织继代增殖的最佳培养基,选用叶片和叶柄两种外植体,在添加不同种类植物激素处理组合的培养基上,对不同外植体进行愈伤组
本文从宗教的角度研究印度种姓制。第一部份纵向地考察印度种姓制和宗教关系的历史,揭示出二者的关系经历了独立发展、相互影响、最后紧密结合,融为一体的发展过程;第二部份
针对曹妃甸港区铁路集疏运系统现状进行分析,研究现有铁路线路情况,利用灰色预测模型对港口吞吐量进行预测,找出铁路集疏运系统发展的制约因素,并提出四点发展对策。
针对某木材加工企业的桌腿加工设备生产效率低、浪费人力和物力等问题,通过对设备的工作过程和使用要求进行分析,提出该设备的自动化设计和改造方案。详细介绍了设备自动化改