S型MEMS平面微弹簧垂直弹性系数

来源 :探测与控制学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiao959907530
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针对缺少“S型”平面微弹簧垂直弹性系数计算公式的问题,运用卡氏第二定律和胡克定律,推导出“S型”平面微弹簧垂直方向弹性系数计算公式。ANSYS有限元仿真表明,其相对误差小于2%,且弹簧垂直方向弹性系数随节数、弯半径以及直梁长度的增大而减小,随梁的宽度和厚度的增大而增大,分析结果为“S型”平面微弹簧的设计和优化提供一定的理论依据。
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