产生臭氧的等离子体过程及其特性

来源 :核聚变与等离子体物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:beginI
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当电子从强电场(>300Td)放电取得的平均能量大于8.4eV时,氧分子便分解且分解电离成高浓度的氧原子和氧原子离子,从而产生高浓度(>200g*m-3)的臭氧。利用电离放电电场的物理量可控制臭氧产生浓度、产生效率及臭氧分解速率,从而实现臭氧产生装置小型化,拓宽了臭氧在环境工程上的应用领域。
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