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本文在介绍采用硅微电子加工系统制造硅型气流传感器结构和工作原理的基础上，对其测试结果和多晶硅电阻特性进行了分析。
利用MEMS研制微型气流传感器的特性研究
【摘 要】
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本文在介绍采用硅微电子加工系统制造硅型气流传感器结构和工作原理的基础上，对其测试结果和多晶硅电阻特性进行了分析。
【机 构】
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黑龙江大学信息与电子科学系
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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1998年4期
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