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用真空共蒸发法在室温下制备了ZnTe：Cu多晶薄膜。用XRD表征薄膜结构，刚沉积未掺Cu和适度掺Cu的薄膜为立方结构，高度（111）择优，重掺Cu的为立方和六方混合相。室温时薄膜的形貌和光能隙取决于掺Cu浓度和退火温度，并通过透射光谱的测量计算出光能隙。
ZnTe薄膜性能研究
【摘 要】
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用真空共蒸发法在室温下制备了ZnTe：Cu多晶薄膜。用XRD表征薄膜结构，刚沉积未掺Cu和适度掺Cu的薄膜为立方结构，高度（111）择优，重掺Cu的为立方和六方混合相。室温时薄膜的形貌和光能
【机 构】
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河北北方学院物理系,电子科技大学微电子与固体电子学院
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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2006年2期
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