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本文报道使用溅射AlN膜做半导体激光器端面反射膜和表面纯化膜的实验研究结果。测量结果表明,使用溅射AlN膜做表面纯化膜的半导体激光器性能良好。
具有AlN膜的半导体激光器的实验研究
【摘 要】
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本文报道使用溅射AlN膜做半导体激光器端面反射膜和表面纯化膜的实验研究结果。测量结果表明,使用溅射AlN膜做表面纯化膜的半导体激光器性能良好。
【机 构】
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北京大学物理系,北京100817中国科学院半导体研究所,北京100083
【出 处】
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中国激光
【发表日期】
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1991年18期
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