【摘 要】
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国内首创的一种将纳米技术成功应用于压力传感器的科技创新产品——电阻应变式纳米压力传感器,由湖南长沙索普测控技术有限公司研制成功。 电阻应变式纳米膜压力传感器,采用
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国内首创的一种将纳米技术成功应用于压力传感器的科技创新产品——电阻应变式纳米压力传感器,由湖南长沙索普测控技术有限公司研制成功。 电阻应变式纳米膜压力传感器,采用低能离子束轰击原子搬迁技术形成纳米量级厚度的Ni—Cr功能薄膜、SiO2钝化层薄膜、Ta2O2过渡层薄膜以及隔离作用的SiO2薄膜,实现了在高温、高压、恶劣环境下的长
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