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设计研制一种用于成形表面接触式在线测量的超精度测量仪。其优点是测量力小(大约100～150mgf),对被测表面不会产生划伤、刮痕,测量精度高,测量仪测头的倾斜与滑动引起的测量误差很小,且其运动通过极小型的激光干涉差分传感器进行检测。因此,其测量数据的相关性和重复性比传统的传感器要好得多,测量数据的重复性3σ小于0．1μm。该测量仪可实时进行测量,测量得到的数据通过电脑同步输出,效率高。