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亚微米电子束曝光机自动输片系统结构与精度分析
亚微米电子束曝光机自动输片系统结构与精度分析
来源 :光电工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ken112233
【摘 要】
:
着重描述了自动输片系统完成的各项功能,并详细介绍机械手的设计功能及精度分析。
【作 者】
:
王继红
【机 构】
:
中国科学院光电技术研究所
【出 处】
:
光电工程
【发表日期】
:
1998年3期
【关键词】
:
电子束曝光机
输片机构
机械手
精度分析
Electron beam exposure devices
Wafer Transport mechanisms
M
【基金项目】
:
“八五”攻关项目
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着重描述了自动输片系统完成的各项功能,并详细介绍机械手的设计功能及精度分析。
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