硅基LiNbO3薄膜的光波导性能研究

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kings0578
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
利用脉冲激光沉积技术在硅衬底上生长高c轴取向LiNbO3薄膜.研究了衬底温度对薄膜质量的影响,发现衬底温度在600 ℃时获得了具有优异结晶质量的高c轴取向LiNbO3薄膜.采用扫描电镜和透射电镜分别对薄膜的表面、截面进行了分析,结果表明,薄膜表面光滑,晶粒均匀致密,薄膜呈与衬底垂直的柱状结构.棱镜耦合技术制备的LiNbO3薄膜具有优异的光波导性能,光损耗为1.14 dB/cm.
其他文献
分析了目前出租车内部设施的设计,针对婴儿和残疾人这两类特殊人群的特殊需求,运用人机工程学,确定车身和婴儿座椅的设计尺寸,对出租车的内部设施做出改善和重新设计。利用So
采用中频交流磁控溅射方法,在Mo层上沉积了CuInGa(CIG)预制膜。分别以N2和Ar为载气,采用硒蒸汽硒化法制备了Cu(In1-xGax)Se2(CIGS)吸收层薄膜,考察了N2和Al流量对CIGS薄膜结构和形貌的
当前羁押劳动收益的流向——不论是发给罪犯还是用于公共用途,被害人都一无所获。被害人得到的往往只是“法律白条”。为保证被害人权益,提取羁押劳动收益作为赔偿专项基金,由国
针对滚动轴承升降速过程中非平稳信号的瞬时频率估计精度不足的问题,提出一种连续非线性调频小波变换的拟合方法来提高瞬时频率估计的精度。利用非线性调频小波变换产生良好
目的:探讨维持性血液透析(MHD)患者自体动静脉内瘘(AVF)失功的主要危险因素。方法行 MHD 治疗的患者96例,其中发生 AVF 失功21例(失功组)和未发生 AVF 失功75例(正常组),对可能影响 AVF
目的:探讨A1滑车切除与切开治疗成人屈指肌腱狭窄性腱鞘炎的临床疗效。方法将60例成人屈指肌腱狭窄性腱鞘炎患者按随机数字表法分为治疗组和对照组,每组30例,治疗组采用A1滑车切
本文分析了不同结构的阴极热子组件与其加热效率的关系。组件的加热效率受阴极支持筒侧面辐射的影响较大,支持筒直径与阴极基底直径相近时,组件加热效率高。并利用ANSYS软件对
气囊式抛光是一种极具发展潜力的抛光方法,在精密光学元件的加工领域具有广阔的应用前景。针对现有气囊式抛光磨头加工方法的不足,提出了一种环形气囊抛光技术,设计了气囊式
目的探讨成人麻疹患者的临床护理特点,提高护理质量。方法选取2013年1月1日~2015年12月31日在我科接受治疗的103例成人麻疹患者的临床资料进行回顾性分析。结果加强护理后,除
目的分析我院白血病化疗术后患者院内感染因素,针对其提出相应的护理对策。方法选取我院100例急性白血病患者为研究对象,采用前瞻性调查方法制定调查表,观察医院感染危险因素