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湿法腐蚀清洗设备湿区对洁净度有严格要求，流场分布对其影响很大，通过 Fluent 对湿区的流场进行分析，建立流场数值模型和几何模型并对流场进行数值计算;改变槽体化学槽气体溢出的速度和排风出口的压强分析流场特性; 计算 3 种排风出口几何模型并分析对湿区流场的影响。
基于Fluent的半导体湿法腐蚀过程中的废气排放流场研究
【摘 要】
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湿法腐蚀清洗设备湿区对洁净度有严格要求，流场分布对其影响很大，通过 Fluent 对湿区的流场进行分析，建立流场数值模型和几何模型并对流场进行数值计算;改变槽体化学槽气体溢出
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2018年5期
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