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1993年春季以来,德国汉诺威的激光中心建立了一个准分子激光器微细加工站,简称为ELPECμ,为该中心提供了有效而灵活的工作站,以便利用准分子激光器进行微细加工。因为在市场上是得不到一个可以与之相比的加工站的,所以在该系统的筹建过程中,首先注意到对这种花费越来越多的加工的需求在不断增长,这种情况应予考虑,其