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将改进的菲涅耳双镜干涉装置用于材料在273-373K温度范围内的热膨胀系数的测量，分析了把常用的热膨胀系数测量方法用于更高精度的测量时存在的不足。新方法利用干涉条纹图像实时采集与处理系统，对由材料受热膨胀时引起的干涉条纹的移动量进行跟踪测量，并利用最小二乘法对导出的材料热膨胀量与干涉条纹移动所掠过的CCD像元个数间的线性关系进行曲线拟合，从而对材料的热膨胀系数进行计算。实验结果表明，新的测量方法是可行的，测量结果与文献推荐值吻合得很好，绝对热膨胀量可测到0．1μm，相对不确定度为1．1％。