论文部分内容阅读
本文概要地比较了扫描电镜和电子束曝光机二者电子光学柱的异同。介绍了把一台ＡＭＲＡＹ系列电镜的电子光柱改造成ＤＹ－５型电子束暴光机电子光学柱所做的工作，最后给 一组试验结果。
DY—5型亚微米电子束曝光机电子光学柱的一些问题
【摘 要】
：
本文概要地比较了扫描电镜和电子束曝光机二者电子光学柱的异同。介绍了把一台ＡＭＲＡＹ系列电镜的电子光柱改造成ＤＹ－５型电子束暴光机电子光学柱所做的工作，最后给 一组试验结果。
【机 构】
：
中科院电工研究所
【出 处】
：
电工电能新技术
【发表日期】
：
1995年2期
其他文献
信息时代的企业竞争关键将是关于设计管理方面的竞争.在对信息化时代的设计管理及其存在的背景与意义进行研究的基础上,论述了课题主要应包括的内容、实现途径以及理论与技术
计量器具管理是实施客观有效、准确计量以及提高产品质量，保障安全生产和行车安全的前提，也是严密科学的计量管理的基础。为了实现计量器具管理的科学规范化，我们开发研制了在微
从改革开放至20世纪末，我国高校教师队伍建设策略不断优化。国家采取多项措施加强高校教师学术能力建设，建立考核制度和教师资格制度，提高入职标准，实施教师聘任制，加强师德建设及
区域经济合作与经济全球化已成为当今世界经济发展的两大主要趋势。经济全球化的出现，促使了国际间、区域间频繁交往，并通过建立各种优惠的经贸安排，寻求更大的经济发展空间。因
大学英语教学从传统教学模式向多媒体教学模式的转换经历了从心理反差到整合的过程,验证了以交际为目的语言学习应建立在认知心理学的基础之上,从学习者的需求心理出发,尊重
ＪＦＹ－３型变压器局部放电在线监测系统能连续监测多台大型变压器的局部放电，并具有事故追忆、故障报警和定位等功能。它采用芝带多通道、大容量、高采样率数据采样；运用多种数字信号处
提高动车组运用计划的接续可靠性可有效降低运营成本,更好适应不断变化的运营环境。基于动车组运用网络图,考虑动车组初始任务、空车调拨等运用条件和检修里程、检修能力等约
介绍了一个包含倾斜转动轴的5轴数控机床坐标系统及其在该转动轴与主轴成45°角情况下的运动特点.通过对该系统中机床运动坐标系与工件坐标系关系的分析,给出了5轴联动时
之前分别介绍了崔桐华老中医治疗呼吸系统、消化系统、心血管、脑血管疾病的经验总结,本篇着重介绍崔老治疗糖尿病的用药特色。糖尿病（DM）是一种以能量代谢失衡为特征,血糖升高
针对企业产品设计系统集成化改造应用问题,结合实施案例,提出了对实施产品设计集成系统的一些看法,以期对企业应用实施产品设计集成系统有一定的参考作用.