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高浓度离子注入砷隐埋层技术与扩散锑埋层技术相比，具有表面浓度高，硅表面无合金点等优点。应用该技术成功地研制了具有国际先进水平的“ＤＹＬ多元逻辑八位高速视频Ｄ／Ａ转换器”集成电路。
高浓度离子注入砷隐埋层技术
【摘 要】
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高浓度离子注入砷隐埋层技术与扩散锑埋层技术相比，具有表面浓度高，硅表面无合金点等优点。应用该技术成功地研制了具有国际先进水平的“ＤＹＬ多元逻辑八位高速视频Ｄ／Ａ转换器”集成电路
【机 构】
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电子工业部东北微电子研究所,110032
【出 处】
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微处理机
【发表日期】
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1996年2期
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