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针对微电子封装业等领域对高加速精密定位系统的需求，提出一种新型2-DOF高加速平面并联定位机构，对系统的速度特性、加速度特性等动态性能进行了仿真分析与实验研究，系统动态响应实验验证此定位平台具有高速／高加速度的运动特性。
一种新型2-DOF高加速精密定位系统的动态性能评估
【摘 要】
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针对微电子封装业等领域对高加速精密定位系统的需求，提出一种新型2-DOF高加速平面并联定位机构，对系统的速度特性、加速度特性等动态性能进行了仿真分析与实验研究，系统动态响
【机 构】
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哈尔滨工业大学机器人研究所
【出 处】
：
机械设计与制造
【发表日期】
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2008年7期
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