【摘 要】
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时间/压力型流体点胶技术在半导体封装过程中有着广泛的应用。由于胶液的非牛顿特性和点胶过程的时变特性,很难建立精确实用的点胶模型。本文通过分析过程参数(胶体体积)变化
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时间/压力型流体点胶技术在半导体封装过程中有着广泛的应用。由于胶液的非牛顿特性和点胶过程的时变特性,很难建立精确实用的点胶模型。本文通过分析过程参数(胶体体积)变化对系统性能的影响,提出了点胶过程分段变参数模型,并利用该模型对实际点胶系统进行了分段控制。仿真和实验验证了模型与控制的有效性。
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