铜阴极溅射辉光放电在强短脉冲供电时的发射光谱研究

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本研究工作以强短脉冲供电和直流供电时辉光放电的伏安特性为基础,详细研究了强短脉冲供电时的电流、脉冲频率、脉冲宽度以及Ar气压力对原子线和离子线强度的影响.实验结果揭示了大电流强短脉冲供电时辉光放电发射光谱的现象
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