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铜阴极溅射辉光放电在强短脉冲供电时的发射光谱研究
铜阴极溅射辉光放电在强短脉冲供电时的发射光谱研究
来源 :分析科学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cw545400
【摘 要】
:
本研究工作以强短脉冲供电和直流供电时辉光放电的伏安特性为基础,详细研究了强短脉冲供电时的电流、脉冲频率、脉冲宽度以及Ar气压力对原子线和离子线强度的影响.实验结果揭示了
【作 者】
:
弓振斌
周振杨
艹凡原
王小如
黄本立
任建世
马洪波
陈明
张功杼
【机 构】
:
厦门大学化学系,材料和生命过程分析科学国家教委开放实验室,中国科学院金属研究所
【出 处】
:
分析科学学报
【发表日期】
:
1996年03期
【关键词】
:
Ionic line
Atomic line
Cathode sputtering glow discharge emission spectrometry
H
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本研究工作以强短脉冲供电和直流供电时辉光放电的伏安特性为基础,详细研究了强短脉冲供电时的电流、脉冲频率、脉冲宽度以及Ar气压力对原子线和离子线强度的影响.实验结果揭示了大电流强短脉冲供电时辉光放电发射光谱的现象
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