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微进给机构的频响和行程量对矛盾,介绍了一种高频响大行程的微进给机构,其关键部件为自行研制的直流直线电机,介绍直线电机的结构,给出了它的动力学模型,并对模型进行了分析和简化,在此基础上,进行 微查给机构闭环特生分析及控制器综合。性能实验结果表明,该微进给机构同时具有频响高、行程大和精度主的特点。