【摘 要】
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近年来，宽带隙半导体材料氧化镓在日盲紫外探测领域的应用引起了广泛关注。本文基于溶液法制备了非晶氧化镓薄膜，采用紫外光退火的方式降低了薄膜的制备温度，并且通过铝颗粒修饰氧化镓薄膜表面，提升了氧化镓紫外探测器的性能。紫外退火的方式可将氧化镓薄膜的制备温度降至300 ℃，有望实现柔性器件的制备。当沉积铝膜厚度在3-5 nm时，可获得分布均匀、直径为2-3 nm的铝颗粒，经修饰的氧化镓薄膜表现出优秀的光电
【机 构】
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北京理工大学光电学院北京市混合现实与先进显示技术工程研究中心薄膜与显示实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金（批准号：61874009）资助的课题；
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近年来，宽带隙半导体材料氧化镓在日盲紫外探测领域的应用引起了广泛关注。本文基于溶液法制备了非晶氧化镓薄膜，采用紫外光退火的方式降低了薄膜的制备温度，并且通过铝颗粒修饰氧化镓薄膜表面，提升了氧化镓紫外探测器的性能。紫外退火的方式可将氧化镓薄膜的制备温度降至300 ℃，有望实现柔性器件的制备。当沉积铝膜厚度在3-5 nm时，可获得分布均匀、直径为2-3 nm的铝颗粒，经修饰的氧化镓薄膜表现出优秀的光电响应性能和日盲特性。在254 nm光照下，最大光暗电流比可达2.55×104， 在紫外波段的抑制比I254 nm/I365 nm为2.2×104。最佳探测器响应度和探测率约为0.771 A/W和1.13×1011 Jones，相比于未做修饰的氧化镓紫外探测器提升了约34倍和36倍。然而，铝纳米颗粒的修饰也会引入部分缺陷态，导致氧化镓光电探测器响应下降时间的增大。
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