【摘 要】
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描述了工作在共振和次共振模式下的低频机械波谱仪的基本原理.主要介绍了研究金属衬底上薄膜的物理性质的两种方法:第一种方法,用于测量沉积在钼丝上TiN/Ti(C,N)多层膜的切变
【机 构】
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AkademiaGórniczo-Hutnicza,30-059Kraków,Poland中国科学院固体物理研究所材料物理重点实验室(合肥)
【出 处】
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第七届全国内耗与超声衰减学术会议暨第六届中国物理学会内耗与超声衰减专业委员会全体大会
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描述了工作在共振和次共振模式下的低频机械波谱仪的基本原理.主要介绍了研究金属衬底上薄膜的物理性质的两种方法:第一种方法,用于测量沉积在钼丝上TiN/Ti(C,N)多层膜的切变模量和内耗;第二种方法,用于探测钢片表面微量油膜的存在.尽管这两种技术有着各自不同的应用目的及对象,但它们均源自能够导致机械能损耗的表面效应.
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