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介绍一个最佳掺杂含量表达式,应用此表达式分析计算了Al-Fe合金布线材料Fe掺杂最佳含量,定量计算的结果与实验数据基本符合.
Al合金布线材料Fe掺杂最佳含量的理论分析
【摘 要】
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介绍一个最佳掺杂含量表达式,应用此表达式分析计算了Al-Fe合金布线材料Fe掺杂最佳含量,定量计算的结果与实验数据基本符合.
【机 构】
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河北工业大学应用物理系
【出 处】
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光电子技术
【发表日期】
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2002年3期
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