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白光扫描干涉测量是光学测量中一种非常重要的方法。在干涉仪的结构中，光源的光谱宽度及扫描步长一定时，选择合适的算法对干涉信号进行处理能够达到更高的测量精度。对重心法、移相法、包络曲线拟合法、空间频域算法分别加以介绍和比较，为白光干涉信号的算法提供详尽的参考。
白光扫描干涉测量算法
【摘 要】
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白光扫描干涉测量是光学测量中一种非常重要的方法。在干涉仪的结构中，光源的光谱宽度及扫描步长一定时，选择合适的算法对干涉信号进行处理能够达到更高的测量精度。对重心法、
【机 构】
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合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
【出 处】
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中国仪器仪表
【发表日期】
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2008年4期
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