2. 您的位置
3. 首页
4. 期刊论文
5. 中温化学气相沉积（MT-CVD）工艺技术及超级涂层材料的研究

中温化学气相沉积（MT-CVD）工艺技术及超级涂层材料的研究

来源 :工具技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zyz2574100

【摘 要】

：

采用MT-CVD工艺技术,用CH3CN等含有C/N原子团的有机化合物,在700～900℃沉积组织致密、层间结合强度好、柱状结晶的超级TiCN涂层.研究了沉积温度、压力、不同气体流量等工艺参

【作 者】

：

李建平 高见 曾祥才 马文存 

【机 构】

：

成都工具研究所

【出 处】

：

工具技术

【发表日期】

：

2004年9期

【关键词】

：

涂层材料 CVD TiCN涂层 中温 硬质合金刀片 化学气相沉积 工艺参数 工艺技术 结晶 研究 MT-CVD  HT-CVD  TiCN super coat 

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文 赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

采用MT-CVD工艺技术,用CH3CN等含有C/N原子团的有机化合物,在700～900℃沉积组织致密、层间结合强度好、柱状结晶的超级TiCN涂层.研究了沉积温度、压力、不同气体流量等工艺参数对TiCN涂层组织结构及性能的影响规律;分析了超级涂层材料设计机理和结构,给出了在经过改造的高温化学气相沉积(HT-CVD)设备上应用HT-CVD和MT-CVD相结合的新的沉积工艺技术生产超级涂层材料的工艺参数以及超级涂层硬质合金刀片性能测试分析结果.

其他文献

新型精密锉刀磨点布局理论的研究

针对目前木制品加工砂光工艺的实际需求,提出具有创新意义的新型木工刀具--金属磨光盘(带)的研究课题,并展开一系列研究开发工作:包括独特的磨点布局模型以及新颖的特种加工

期刊

锉刀磨点布局理论刀具数学模型金属砂光盘金属砂光带metallic polishing traymetallic polishing beltm

护理美学在服务岗位中的应用体会

护理美学是美学体现在护理实践中的一门交叉性应用学科，我科自2004年创建服务示范岗以来．一直努力将护理美学渗透在护理工作中的每一个环节，使病人得到美的护理和美的享受，产生愉

期刊

护理美学服务岗位护理实践护理工作心理效应交叉性病人

《江苏造纸》已在CNKI中国学术期刊全文数据库网络出版

期刊

水中三甲胺氮测定方法的研究

三甲胺（TMA）,分子式（CH₃）₃N,易溶于水,对人体具有一定的毒性,它在工业上主要用作表面活性剂原料。一般水系中TMA含量甚微,主要来源于水体中鱼类的腐败。某

期刊

三甲胺工业废水比色管人为事故吸光度样品测定干扰物质试剂空白酸溶液测定步骤

学校工作质量综合评价试验工作点滴体会

【正】 我校自1986年11月开始,接受了北京教科所关于《北京中、小学工作质量综合评价研究实验方案》的试点任务,至今已有一年多时间,进行了两轮实验.第一轮实验是从1986年年

期刊

综合评价工作质量评价实验形成性评价学校班主任科学管理领导工作实验方案评价研究

国企改制方案按严格程序审批

国务院国有资产监督管理委员会《关于规范国有企业改制工作的意见》中规定，国有企业改制方案必须按国家规定严格履行决定或批准程序，未经决定或批准不得实施。

期刊

国有资产管理国有企业改制方案审批国务院国有资产监督管理委员会

重度创伤后多脏器功能不全的临床分析

目的:探讨严重创伤患者并发多脏器功能不全综合征(MODS)的易患因素、发病率及预后情况,为MODS早期诊断、治疗提供依据.方法:回顾性调查1998年～2003年273例重度创伤患者,对MODS

期刊

重度创伤多脏器功能不全综合征创伤评分易患因素发病率预后

数控金属板材加工设备产业基地获国家火炬计划批准

期刊

数控转台冲床数控精密激光切割机金属板材数控加工数控机床

提高鞋用中底纸板挺度的生产实践

介绍了影响鞋用中底纸板挺度的主要因素。叙述了从原料配比、打浆方式、功能助剂、浸渍胶乳等几个方面来提高鞋用中底纸板挺度的一些措施。

期刊

鞋用中底纸板挺度

甘氨酰脯氨酸二肽氨基肽酶对良、恶性腹水诊断价值分析

对69例良、恶性腹水中甘氨酰脯氨酸二肽氨基肽酶(GPDA)进行检测，并与Tch、CEA检测比较。结果显示腹水GPDA在恶性腹水组明显高于良性腹水组，分别为55.2±30.0u/ml和19.8&#17

期刊

甘氨酰脯氨酸二肽氨基肽酶恶性腹水总胆固醇癌胚抗原诊断Glycel-Proy Dipeptidly-AminopeptidaseAsctes Mali