【摘 要】
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在 1 0 - 5乇真空条件下 ,对 Zr O/W(多晶 )的逸出功 和发射常数 A进行了测量。实验结果 为 3.0 5e V,A为 1 .1 6× 1 0 - 2 (安 /厘米 2 ·度2 ) ,表明用多晶钨代替单晶
【机 构】
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西安交通大学微电子学系!陕西西安710049,云南大学物理系!云南昆明650031,云南大学物理系!云南昆明650031,西安交通大学微电子学系!陕西西安710049
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在 1 0 - 5乇真空条件下 ,对 Zr O/W(多晶 )的逸出功 和发射常数 A进行了测量。实验结果 为 3.0 5e V,A为 1 .1 6× 1 0 - 2 (安 /厘米 2 ·度2 ) ,表明用多晶钨代替单晶钨 ,也能得到很低的逸出功值 ,其应用价值是好的。
The work function and the emission constant A of Zr O / W (polycrystal) were measured under vacuum conditions of 10 -5 Torr. The experimental results 3.05eV, A is 1.16 × 10-2 (A / cm 2 · degrees 2), indicating that polycrystalline tungsten instead of single crystal tungsten, but also can be very low work function, Its application value is good.
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