论文部分内容阅读
介绍了电子束曝光的分类和特点,阐述了电子束直写曝光的核心部分-电子光柱体的结构、原理以及工作方式;并且介绍了电子束的产生、偏转、曝光过程以及电子束的束斑类型以及扫描方式;分析了影响电子束曝光分辨率的关键参数以及邻近效应对工艺的影响。
电子束直写曝光机的原理与常见问题分析
【摘 要】
：
介绍了电子束曝光的分类和特点,阐述了电子束直写曝光的核心部分-电子光柱体的结构、原理以及工作方式;并且介绍了电子束的产生、偏转、曝光过程以及电子束的束斑类型以及扫
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第十三研究所
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
：
2020年2期
其他文献
分别用外输油和油区来水作为标准油绘制标准油曲线，根据相同监测点位含油量测试实验结果，确定了用外输油代替含油污水进行标准油曲线绘制的可行性；用红外光度法和紫外光度法分别
背景微泡可作为药物和基因的转染载体，经超声照射后转染效率提高，从而在多种眼科疾病的治疗方面发挥重要作用。然而，不同超声辐照强度发挥的生物学效应有所不同。目的筛选适用于正常兔视网膜组织的超声辐照强度和时间，为超声联合微泡治疗眼底疾病的研究提供实验依据。方法选取18只清洁级新西兰大白兔，按照随机数字表法分为空白对照组、单纯超声辐照组、单纯玻璃体腔注射组及玻璃体腔注射＋低、中、高强超声辐照组。空白对照组
本文提供了一种合成2-取代呋喃和2,5-二取代呋喃的方法,即通过碘代烃与末端炔丁醇发生Sonogashira偶联反应,生成3-炔-1-醇,再在Dess-Martin Periodinane的作用下发生异构环化
目的：建立一种简便、快速、同步测定全血叶酸、红细胞叶酸和血浆叶酸的方法。方法：用深圳新产业全自动发光免疫分析仪检测血浆叶酸的方法。结果：本法测定零标准品的灵敏度为0．13n
VSP地震采集境外施工一般需要招聘部分外籍员工，由于语言上的障碍和文化环境上的差异等原因，外籍员工常常不能准确理解和贯彻HSE管理制度，致使野外施工的隐患有所增加。分析了在
从北京出发向东飞过浩瀚的太平洋，首次进入一个神秘国度——美国，在西海岸城市旧金山转机向东横跨落基山脉来到了科罗拉多州首府丹佛。
2010年10月,工程建设公司乍得分公司积极响应中国石油天然气集团公司＂质量月＂活动,按照公司＂抓质量水平提升,促发展方式转变＂的主题思想,组织所属炼厂项目和油田项目开展了形式多
背景青光眼滤过术后瘢痕形成是导致手术失败的主要原因，探讨球结膜滤过泡中基质金属蛋白酶2(MMP-2)及组织金属蛋白酶抑制剂2(TIMP-2)的表达对于术后瘢痕形成的发病机制研究具有重要意义。目的观察大鼠球结膜滤过泡模型滤过区组织中MMP-2及TIMP-2的表达与瘢痕形成进程的关系。方法采用完全随机化分组法将63只6～8周龄清洁级雄性SD大鼠分为正常对照组和术后1、3、5、7、14、28 d组，每只