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睿励科学仪器的全资子公司睿励微电子设备（上海）有限公司（RMEC）隆重推出FSD系列自动宏观缺陷检测设备，包括适用于200mm及以下硅片的FSD200μ和适用于300mm硅片的FSD300。
睿励推出FSD系列自动宏观缺陷检测设备
【摘 要】
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睿励科学仪器的全资子公司睿励微电子设备（上海）有限公司（RMEC）隆重推出FSD系列自动宏观缺陷检测设备，包括适用于200mm及以下硅片的FSD200μ和适用于300mm硅片的FSD300。
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2012年10期
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