【摘 要】
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真空机器人是先进半导体制造行业中不可缺少的重要设备之一.本文介绍了一种并联型真空机器人的运动学模型,以及利用OpenGL和STL格式文件在Visual C++6.0程序界面中实现3D图形
【机 构】
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中国科学院沈阳自动化研究所研究生院中国科学院研究生院,沈阳新松机器人自动化股份有限公司
【基金项目】
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科技部超大规模集成电路制造装备重大专项
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真空机器人是先进半导体制造行业中不可缺少的重要设备之一.本文介绍了一种并联型真空机器人的运动学模型,以及利用OpenGL和STL格式文件在Visual C++6.0程序界面中实现3D图形仿真的方法,取得了良好的实验效果,为进一步实现上位机实时在线监控奠定了基础.
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