【摘 要】
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开展了2英寸（5.08cm）MgO单晶基片上YBa2Cu3O7-δ（YBCO）薄膜的制备及工艺稳定性研究。通过对基片表面状态的研究,提出了高温退火处理基片的方法,改善了基片的表平整度,大幅度提高
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
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开展了2英寸（5.08cm）MgO单晶基片上YBa2Cu3O7-δ（YBCO）薄膜的制备及工艺稳定性研究。通过对基片表面状态的研究,提出了高温退火处理基片的方法,改善了基片的表平整度,大幅度提高了薄膜的取向性以及结晶质量,制备得到的YBCO薄膜具有优越的超导电性,薄膜临界电流密度J（c77K,0T）≈2.5MA/cm^2,微波表面电阻R（s10GHz,77K）≈0.16mΩ,能够满足超导滤波器的设计要求。另外,还就工艺的稳定性和可重复性进行了研究,表明电子科技大学已具有小批量化提供大面积双面YBCO样品的
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