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光刻胶产品主要适用于集成电路产业和平板显示器产业的光刻工艺，以得到精细线路。文章介绍了光刻胶产品工业化生产的工艺流程和质量管控。
光刻胶产品的生产工艺和质量管控
【摘 要】
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光刻胶产品主要适用于集成电路产业和平板显示器产业的光刻工艺，以得到精细线路。文章介绍了光刻胶产品工业化生产的工艺流程和质量管控。
【机 构】
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安智电子材料（苏州）有限公司品质部
【出 处】
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科技创新与应用
【发表日期】
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2014年36期
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