【摘 要】
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采用固相烧结法烧结掺杂Li2O-K2O-Al2O3石英陶瓷,用XRD、SEM、微波网络分析仪等手段分析不同烧结温度下样品的表面特性、介电性能及力学性能。结果表明,掺杂Li2O-K2O-Al2O3石
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
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采用固相烧结法烧结掺杂Li2O-K2O-Al2O3石英陶瓷,用XRD、SEM、微波网络分析仪等手段分析不同烧结温度下样品的表面特性、介电性能及力学性能。结果表明,掺杂Li2O-K2O-Al2O3石英陶瓷在烧结过程中产生了大量玻璃相,陶瓷微结构致密,介电性能良好（低频1 MHz测试下介电常数εr=5.45~5.87,损耗角正切tanδ=0.004 1~0.005 4;高频14GHz测试下εr=4.37~4.58,损耗角正切为0.003 8-0.005 3）,在1 350℃烧结陶瓷介电性能最优。相比不掺杂石英
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