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微电子机械系统(microeletromechanical system,MEMS)技术的兴起及其在生物化学领域的广泛应用,推动了聚合酶链式反应(polymerase chain reaction,PCR)热循环装置越来越微型化,各种PCR微芯片/装置被开发.本文主要介绍了基于MEMS技术的连续流动式PCR(continuous-flow PCR)芯片/微装置的相关技术,包括基底材料的选择、通道表面钝化技术、微细加工技术、封接技术以及系统检测技术等,最后简单介绍目前实验室的研究工作.