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以静电梳驱动折叠梁硅微机械谐振器为研究对象,在建立硅微机械谐振器振动方程的基础上,导出了幅频函数、相频函数对固有频率相对误差、品质因数相对误差的灵敏度表达式,重点分析了固有频率相对误差、品质因数相对误差在中心频率处、3dB截止频率处对幅频特性、相频特性的影响,以及对常用的3dB通带带宽的影响,得出了一些重要的结论.