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从1949年发明电子探针，1956年生产第一台商品化电子探针的四十余年内，电子探针得到广泛的应用，日本有近2000台，估计美国也有1000台以上，其它每一个发达国家中，至少也有几百台。显然电子探针在促进科学技术，生产的发展起着重要作用，特别在表面科学，材料科学及高科技产业生产等方面。未来21世纪经济及高新技术的高速发展，可以预见到要求更多更高的高灵敏度、高精确度、高自动化，高稳定性及快速的分析检测仪器，其中包括电子探针。1994年“岛津分析通讯”3期上，介绍了日本岛津制作所研制、生产电子探针的历史及发展过