Review of advanced CMOS technology for post-Moore era

来源 :中国科学:物理学、力学、天文学英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ysabby2008
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设备的连续精简在过去的 40 年里支撑了 Moores 法律。当力量驱散变得越来越严肃,很多新兴的技术在过去的十年被采用了解决短隧道效果,漏和表演降级问题。在这篇论文,新兴的可伸缩技术和设备革新,包括 high-k/metal 门,紧张,极端浅的连接, tri 门 FinFET,极其薄的 SOI 和硅 nanowire 联邦货物税将为 post-Moore 以潜力和挑战被考察并且讨论时代。
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