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NaCl型NiO 是一种p型半导体, 广泛用于传感器、催化剂、涂料、磁性材料及电极材料等领域[1～5]. 最近, Poizot等[6]又报道了NiO可作为锂离子电池的阳极材料, 使NiO成为又一新的研究热点. 纳米NiO粉末的制备方法有多种, 主要包括化学沉淀法和沉淀转换法, NiO薄膜的制备主要采用磁控溅射、化学气相沉积和电沉积等方法[7～12]. 脉冲激光沉积法具有操作简单和成膜纯净等优点, 因此是制备薄膜的重要方法之一.