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电容式硅微微压传感器具有灵敏度高、稳定性好、加工复杂程度适中等优点，适用于硅微微压传感器的信号转换。采用ANSYS软件对电容式硅微微压力传感器的核心部件进行有限元模拟，即对周边固支的各种结构类型的应变膜进行均布压力作用下的小挠度和大挠度静力学分析。对比各种结构类型的应变膜的挠度特性发现：圆形带岛波纹薄膜因其岛部位移的一致性提高了感测电容的灵敏度，其良好的线性降低了后续检测电路的复杂程度，是电容式硅微微压传感器的较好选择。