【摘 要】
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针对高精度多自由度位移同时测量问题,利用光斑位置变化方法设计了一种基于单面阵( CCD,Charge-Coupled Device)三维平移测量系统.系统采用两路准直(LED,Light-Emitting Diod
【机 构】
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北京信息科技大学光电信息与通信工程学院
【出 处】
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北京信息科技大学学报（自然科学版）
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针对高精度多自由度位移同时测量问题,利用光斑位置变化方法设计了一种基于单面阵( CCD,Charge-Coupled Device)三维平移测量系统.系统采用两路准直(LED,Light-Emitting Diode)光束作为测量基准,由单面阵CCD探测光斑图像,图像经处理后可获得光斑位置信息,根据光斑位置变化推算出被测物体三维平移变化量.在实验室环境下构建了二维实验系统,模拟测量X向和Z向的平移变化,结果表明,X向平移测量精度优于±1μm,Z向平移测量精度优于±2μm.系统具有非接触、体积小、精度高的特点.
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